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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心測(cè)溫儀半導(dǎo)體&薄膜測(cè)溫Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計(jì)

Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計(jì)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計(jì)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程,應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片,外延,晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測(cè)溫;OR4000T型具備多通道能力,支持高達(dá)2kHz的讀取速率,符合半導(dǎo)體應(yīng)用中極為嚴(yán)格的要求。

其采用模塊化設(shè)計(jì),可快速量身定制。

產(chǎn)品廠地:上海市

更新時(shí)間:2025-03-18

廠商性質(zhì):代理商

訪問量:1113

服務(wù)熱線

021-52966696

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產(chǎn)品介紹

主要特性

優(yōu)點(diǎn):

  • 提高可重復(fù)性并顯著減小誤差提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

  • ·提高多個(gè)腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


特點(diǎn):

  • ·主動(dòng)輻射率檢測(cè)和補(bǔ)償

  • 溫度和輻射率讀取速率快

  • ·模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性

  • ·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件


技術(shù)參數(shù):

概述:多通道,高性能,測(cè)量速度高達(dá)2kHz
通道配置:1-4通道,帶可選/固定發(fā)射系數(shù),每個(gè)通道可單獨(dú)配置
測(cè)溫范圍:50-3500°C
實(shí)時(shí)發(fā)射系數(shù)范圍:
測(cè)量波長(zhǎng):UV to 2300 nm
讀取速率:高達(dá)2kHz
測(cè)量精度:±1.5℃
重復(fù)精度:±0.1℃℃,正常情況下
分辨率:0.001℃C
顯示:帶鍵盤輸入內(nèi)置,4x21LCD屏,
數(shù)據(jù)I/O:RS-232,RS-422/486, and Ethernet
模擬輸出:0-10V或4-21mA
控制接口:外部觸發(fā)輸入,同步輸出,高低報(bào)警
電源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
環(huán)境參數(shù):5-40℃,非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)
重量:2.0kg
安裝:底部M3X0.75螺孔
采樣響應(yīng)時(shí)間:2kHz采樣速率時(shí)<2ms




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